生产高纯气体
精制后的副产气体可采用吸收 —解吸 —冷凝—过滤 —吸附工艺生产高纯气体。这种高纯气体用途如下 :
● 聚生产
高纯气体可与乙烯合成, 也可用于与烃 、空气(或氧气)进行催化法氧氯化反应生产氯化烃 。工业上的氧氯化反应就是的生产，生成的裂解生产并副产 HCl气 ,这种副产HCl 气可循环利用。
● NH 4 Cl 生产
氨和 HCl 可直接合成制造 NH 4 Cl, 也可生产氯化磷用作 4-羟磷氯化物的中间体。
二、有毒气体,半导体气体很多是对人体有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等；
三、助燃气体,这些高纯气体自身不能燃烧,但若与可燃物、可燃气体接触,将帮助燃烧,应在储运\使用中们加注意,如o2\n2o\f2\hf等窒息性气体；
四、还有气体性质稳定,也无毒性,但当它们排放在不通风的场所时,空气中氧含量降到18%以下时,因缺氧会使人呼吸困难，若不能及时解救也会有危险甚至，这类气体有氮气、氩气二氧化碳、氦气等。
五、腐蚀性气体，通常遇水就显示其腐蚀性，如hcl、pocl3、hf等。许多气体同时兼有多种性质，在这些气体输送、储运、使用中应予重视。
半导体生产用高纯气体不仅种类多，而且更重要的是对气体品质在很严格的要求。
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